ベアボードテスター Micro Prober
生産性とコンタクト精度を両立した業界標準の電子回路基板向け検査装置
回路基板の電気検査工程において、生産性を左右する直行率とスループット。
既存の治具方式やフライングプローブ方式では両立困難なこの課題を、ヤマハのフライングフィクスチャー方式™が解決しました。
既存の治具方式やフライングプローブ方式では両立困難なこの課題を、ヤマハのフライングフィクスチャー方式™が解決しました。
マイクロプローバーの特徴
生産性とコンタクト精度の両立
- 小型冶具が俊敏に移動するフライングフィクスチャー™方式検査
- 基板を動かさずに、対象個片に対して高い位置決め精度でコンタクト
- ±5μmの高コンタクト精度で擬似不良・誤コンタクトを削減
高い繰り返し安定性と再現性
- カメラアライメントとコンタクトを繰り返すステップ＆リピート方式
- 基板の伸縮による影響を最小化することでコンタクト精度が向上
- 上下独立位置決め検査治具で、裏表の層間ずれがある場合も安定検査
薄物・大判基板もフラットに矯正
- 4点クランプ＆テンション方式の基板把持機構
- 基板の4隅を把持し、XY方向に最適な張力をかける独自のクランプ機構
- ハンドリングの難しい薄物や大判基板、反りの強い基板もフラットに矯正
作業者の熟練度に依存しない仕組み
- 立上げや段取り替え等の作業コストを大幅に削減するワンタッチ治具交換
- 誰でも最適な検査条件を調整・維持できるコンタクト位置自動調整機能
- 装置のパフォーマンスを十分に発揮させるための洗練されたGUI
検査の信頼性を向上させる仕組み
- 治具情報を管理しメンテナンス性の向上や誤取り付けを防ぐRFIDシステム
- 検査結果の統計情報をその場で確認、工程改善に役立つ統計分析ツール
- 個片単位のトレーサビリティ管理を可能にするデータコード管理機能
高水準な要求に応える検査機能
- 高精度4端子検査
- μショート検査
- スパーク検出
- 加熱検査
- 非接触検査
製品ラインナップ
FPC/半導体パッケージ基板用
-
標準モデル MR262- Standard
- 260×400
-
最上位モデル MR262E- Standard
- 260×500
-
標準モデル・自動供給排出対応 MR262-A- Standard
- 260×400
- Automatic
-
大判シート対応モデル MR612- Large sheets
- 610×510
-
大判シート対応モデル・自動供給排出対応 MR612-A- Large sheets
- 610×510
- Automatic
-
コンパクトモデル MR262C- Compact
- 260×280
- Inline
-
Roll to Roll対応モデル MR262-GFR- Roll to Roll
- W260
- Grip feeding
タッチパネル用
対象ワーク
フレキシブル基板
リジッドフレックス基板
FC-CSP基板
FC-BGA基板
タッチパネル（ITO）
